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蒸汽喷射泵、湿式泵、干式泵是常用的真空泵类型。
这些年，由于对节能减排和环境保护日渐重视起来，干式泵被更多业内人士关注并选择。
干式泵以罗茨泵、螺杆泵、爪式真空泵三大类型为主。干式真空泵的投入成本特点可以简单总结为1高2低，即投资成本较高，但是运行成本和维修成本都较低。
（罗茨泵）
无油干式机械真空泵，简称干式机械泵，是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中区，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
干式真空泵的特点：
---没有工业生产液流的污染
---深度真空，运转更灵活
---无废水，无污染，较少或无废弃物处理费用
---在泵排放口立即回收溶剂
---消耗水、电、气等费用较低（运行成本较低）
（干式螺杆泵）
（爪式真空泵）
干式泵的成本具体说明
***投资成本较高
***较低的维修成本
***较低的运行成本
—延长维修服务间隔时间和轴承寿命。
—在运作范围内，电力消耗较低。因此，在容能比方面节能效果更好。
—无受污染的油要进行处理（处理齿轮箱以外）。
干式真空泵的应用是广泛的，可用于多晶硅制备工艺、半导体刻蚀工艺，还有化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等领域也适合使用干式真空泵。
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