真空设备中常用进口真空泵的应用特点

现在真空设备的应用领域愈来愈广，如何处理各种复杂问题，多年来真空技术专家——豪可德真空科技一直在思考，努力做这方面的工作。

真空设备出现故障，我们的经验是不要急于下结论，不要急于拆卸调设备、应认真分析故障现象，先用真空仪表大概判断出设备状态。然后对进口真空泵单独测试和整个真空机组进行检测，在确保真空获得无问题情况下。进行真空检漏，检漏根据问题论述原则，选检漏仪与检漏方式。先进行静态升压试验，判断漏气和放气。然后进行分段与整体检漏，找出漏点，并确定其漏率大小。

根据真空检修方案，理论和实践相结合，我们对一些真空冶金炉、真空热处理炉、真空镀膜机、真空钎焊炉、和各种真空校准检测装置进行实践，成功解决设备故障，取得良好成果。

常用真空泵的应用特点：

(1)旋片真空泵：又称机械真空泵属于低真空泵类。它具有从大气直接排气的特性，既可以单独使用，也可作为高真空泵或超高真空泵的前级泵。

旋片泵的工作原理：是基于变容作用，用油来保持运动部件之间密封，靠机械的方法来密封的容积，容积周期性增大、缩小，从而达到排气的目的。所以旋片泵极限真空度下降，噪声大，卡死等现象，与油的质量和机械转动有关。

(2)油扩散泵：油扩散泵是目前生产中常用的高真空泵，被广泛用于真空电子器件的排气车、真空冶炼、真空热处理、真空镀膜与真空焊接等设备中。它的主要特点是在高真空下。对各种气体都有很高的抽速，使用维护都很方便，无机械运动，不易损坏，但不足之处不能单独使用，必须有前级泵方可工作。

油扩散泵是一种蒸气流泵，其工作原理利用蒸流的作用来将低密度气体压缩为较高密度使其达到机械泵能够作用气体压强范围被抽走。由于油分子量是空气分子量15～20倍，油分子能比空气大一个数量级，泵油在加热情况形成每秒200m 定向运动的蒸气流是油扩散泵关键。

由此看来，若要扩散泵正常工作：

a．扩散泵在加热时必须有足够大的蒸气压，而在冷却后要有足够低的蒸气压。

b．一定要有前级泵才能工作，因只有油蒸气流密度远大于空气密度时才能形成高速气流。

c．要有足够的加热功率，使油锅内油迅速蒸发，通过喷嘴形成定向射流。

d．要有足够的冷却能力，使油蒸气碰到泵壁时能很快地冷凝为液体返回油锅，否则冷却不够产生反扩散，降低真空度。

(3)分子泵：涡轮分子泵是靠高速转子携代气体分子获得超高真空的一种机械式真空泵，工作压力范围为10-1～10-8pa，它具有抽速较大，抽速范围很宽的特点，分子泵适用于要求清洁的高真空和超高真空的设备上使用，但它不能直接对大气排气，需要配置前级泵、由于分子泵属于分子动能泵在大气压下启动分子泵、分子密度过大、泵工作要发热损坏。

一切尖端科技发展几乎都离不开真空技术，如原子能制造、宇宙空间技术、微电子技术、纳米技术、真空冶金等......涉及化学工业、医药工业、制盐、食品、制冷工业等等各个领域、应用面极为广泛。

一个真空设备，经过相当长时间的抽气之后仍然达不到预期的真空度，可能是由于以下三个主要原因引起的，真空测量、真空获得和真空检漏。

真空测量是真空设备眼睛，测量仪表使用好坏直接反映设备真空运行状态。真空获得是真空设备基础，真空获得设备性能好坏直接影响真空设备极限真空度。真空检漏是保证真空设备正常运行好坏重要手段，换句话说：真空检漏是真空获得的保证。

进口真空泵以上三种因素中任何一个要素出问题时，真空设备真空获得和维持都变得十分困难。要解决这个矛盾，首先判断出起主导作用的是什么因素，找到问题的所在，从而采取相应的措施加以解决。