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真空炉真空系统达不到极限真空度怎么办?

2019/6/21 10:54:12 真空系统 真空系统设计 好凯德

在真空炉维修中经常会出现真空系统达不到极限真空度或抽空时间过长,通过什么办法可以找到其原因,并加以消除?下面和豪可德真空科技一起去看看!

首先进行真空系统是否漏气的判断,通常用静态压升法来判断。即容器抽到一定的压强后,关闭真空阀门将被抽容器与泵隔开,由于容器的漏气和材料的放气,容器中的压强将随时间的增加而变化,用相应的真空计每隔一定时间测量一次容器中的压强,就能绘出压强---时间曲线,曲线有四种情况如图所示。

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(1)直线a:为平行于横坐标的直线,压强随时间的延长不变,表示容器既不漏气也不放气,真空度上不去是由于泵的工作情况不良所致。

(2)曲线b:压强开始上升较快,而后上升速度减慢,最后趋于平衡。表示容器没有漏气而是炉衬材料放气。

(3)曲线c:压强随时间的延长成线性增长,表示容器漏气而炉衬材料不放气。

(4)曲线d:压强开始上升较快,随后减慢,最后形成斜率为ΔP/ΔT的直线,说明容器既有漏气又有放气。

容器压强---时间曲线如果真空炉的压升率是第一种情况(曲线a ),可以从以下几种情况查找原因:

A,机械泵抽气速率过低或真空度不高。

B,罗茨泵抽气速率过低或真空度不高。

C,K型高真空油扩散泵抽气速率过低。

K型油扩散泵常见故障见表

故障原因分析故障排除方法
扩散泵油氧化呈棕褐色更换新油
扩散泵内各级喷嘴(铝制)氧化成棕褐色卸掉各级喷嘴用金相砂纸擦拭,抛光,直至露出铝的本色
扩散泵未通水或水量不足喷嘴被烧损更换新泵,并注意保持一定的水量

真空计或真空阀门控制失灵及排除方法见表

故障原因分析故障排除方法
真空规管污染损坏更换真空规管
真空计指示不灵敏检修真空计
抽气时电磁阀未打开检修或更换电磁阀
抽气时气动真空阀门失控保持压缩空气压力<5*105Pa 

如果真空炉压升率是其它几种情况(曲线B,C,D )可认为真空炉存在漏气或放气,其故障分析和排除方法见下表。

故障原因分析故障排除方法
真空炉体或真空管路有泄漏对真空炉及真空管路,分部件进行气密试验,如有泄漏处应补焊
各部件之间的额密封墨或动密封泄漏检查各部件间的密封圈是否完好,如有损坏应更换, 逐个检查动密封是否完好,如有损坏应更换
加热室长期不使用或进入潮湿空气对加热室进行逐段温度保温烘炉,直至达到真空度的要求
油槽中淬火油进入大量空气淬火油边加热边搅拌并且抽真空进行排气 

排除故障的顺序是先解决真空炉的真空系统漏气问题,然后解决真空炉的放气问题。

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